简要描述：vFE-SEM获得的图像分辨率高，信息丰富，样品处理相对简单，并且它可以观察、测量并分析样品的细微结构，因此被广泛应用于纳米技术、半导体、电子器件、生命科学、材料等领域v电子枪种类：冷场发射v二次电子图象分辨率：0.6nm@15kV

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